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上海本社
大途电子(上海)有限公司

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OPT设备

划片机(机械式金刚石划刀) Point Scribing Machine

金钢石划刀实现高精度的切片

概要
本装置是能在砷化镓(GaAs)、磷化铟镓铝(AlGaInP)等化合物半导体基板上自动地找平、决定位置后进行裂片用的划线装置。本装置是一次/二次划线及全划线芯片化的兼用机。
DPS系列适用于LD或LED制程的生产。

特征
  • 通过画像处理装置进行自动找平、对位和中途位置补正。
  • 3种模式切换方式。
  • 采用高精度划片工作台。
  • 节省场地空间、操作方便。设备尺寸:W700×D800×H1500mm
  • 可进行点划线、船型全划线的两种动作模式。 
  • 可以高速动作。
  • 最大对应φ4英寸Wafer。
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裂片机 Breaking Machine

采用劈刀方式裂片 环保地干式加工

概要
本装置系为了芯片化对实施全划线后的砷化镓(GaAs)、磷化铟镓铝(AlGaInP)、蓝宝石等半导体基板进行裂片的设备。利用图像处理装置,可以自动找平基板和定位。
DBM系列适用于LD或LED制程的生产。

特征
  • 通过画像处理装置进行自动找平、对位和中途位置补正。
  • 3种模式切换方式。
  • 由于最优先地再次考虑到刚性结构的配置,机械上的刚性很好地提高了。
  • 采用高精度裂片工作台。
  • 节省场地空间、操作方便。设备尺寸:W700×D800mm
  • 可以高速动作。
  • 最大对应φ4英寸Wafer。
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晶圆片(Wafer)测试机 Wafer Tester

高速高精度的Wafer芯片测定

概要
本装置是对晶圆片(Wafer)印加定电流脉冲,测定电流、电压、光功率输出,同时利用光纤引导到分光器从而测定光谱并判定良否的自动测试设备。

特征
  • 探针(Probe Pin)压力自动控制(采用测压元件)。
  • 晶圆片(Wafer)厚度自动补正功能。
  • 连续多片晶圆片(Wafer)处理。
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LD芯片测试机 LD Chip Tester

高信赖度的对芯片无损伤的测定功能


概要
本装置是自动测定半导体激光(LD)芯片的电气特性、光功率输出特性、波长特性,并表示结果和判定良否的设备。
测定方式采用脉冲驱动从而考虑到了产品的安全性。

特征
  • 对芯片无损伤!采用独创原厂探针(Probe)。
  • 短脉冲驱动。
  • 采用高速分度(转位)工作台测试,从而达到高速化。
  • 采用独创原厂驱动(可以多重驱动)。
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LD条形巴测试机 LD Bar Tester

丰富的实绩成果说明是长期畅销的设备


概要
本装置能够自动测定Bar状态之激光二极管(Laser Diode)材料。针对各种材料进行Pulse Driver通电,在测定工作台上自动测定电气特性、FFP特性、光输出功率特性。
特征
  • 短脉冲大电流印加;高速度、高精度测定。
  • 采用4端子测定(Kelvin)。
  • 可对应各种材料。
  • 在不良品上打刻痕记号功能。
  • 备有全自动机型和半自动机型(装载和卸载方面)。
  • 测定项目: IL/IV特性、FFP特性、波长特性。
  • 演算输出项目: Po、Iop、Vop、Ith、Rd、SE、KINK、Øh、Øv、λp。
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LD完成品测试机 LD Package Tester

实现了高精度测定和安定稼动 标准规格


概要
本装置能够自动测定封装之后激光二极管产品的电气特性、光功率输出特性和波长特性,并表示结果和判定良否。测定驱动方式是以CW驱动,从而保证了产品的安全性。

特征
  • 采用独创原厂驱动(可以多重驱动)。
  • 采用高速分度(转位)工作台测试,从而达到高速化。
  • 侧面触点连接测试方式。
  • 可以10个托盘(最大2000个)产品搭载。
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BAR整理机 (Bar Alignment M/C)


  • size:300(W)* 500(D)* 245(H)
  • 该设备用于LD Bar条的排列整理
  • 使用专用的夹具保证精度
  • 操作简单
  • 维修方便
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老化设备 (Aging)


  • 1台主电脑最大可控制人口槽
    (1槽=1000个材料,4槽=4000个材料)
  • 搭配变频机,可实现装置的低耗电量
  • 采用Windows NT操作系统
  • 搭配原厂高性能软件

概要
本装置是用高温进行半导体镭射二极体(Laser Diode)的寿命测定,评价其特性。将材料放入恒温槽内,设定任意温度在这种状态下,用定功率(APC)或定电流(ACC)使其发光来测定Lop(动作电流)或Po(动作光输出功率)
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Pulse Aging Equipment (脉冲老化设备) DSLD-HP系列

满足顾客需求的新型号!短脉冲和优越先进的Tr/Tf

概要
  • DSLD-HP被设计为对使用短波长的激光二极管加载脉冲电流从而测量其可靠性和使用寿命的装置
  • 可靠的操作性能保证了能够安全和稳定地测试
  • 可采用供研究开发用途的10ch型式或供大量生产用的100ch型式

特征
  • 高稳定脉冲波形驱动
  • 独立设计的电路技术可用于高精度测试
  • 使用Heat-plate加热板方式能够稳定地控制温度
  • 内容丰富多样的软件
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LD Aging Equipment(激光二极管老化装置)_Custom-Made Model(定制型号)

丰富多样的规格和实际成绩 DSLD-VA系列(量产类型)
  • 大途公司能够提供标准规格以外的根据用户要求设计的可靠性和使用寿命测试用的装置
  • 为提高信赖度, 大途公司也能够提供附加的多样化的技术服务, 例如: 防止因打雷闪电或停电等原因而损坏LD激光二极管的功率峰值保护电路; 装载可靠性优良独立设计的APC自动程序控制电路; 等等

DSLED-120

DSLD-500VC


DSLD-240H

DSPE-40L

DSLD-200L


DSLD-2000HV(500ch),DSLD-2000HV(500ch)夹具

DSLD-120H, DSLD-120H夹具
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